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材料表征分析與元器件分析

 

適用范圍:

硅片(拋光片、外延片、SOI片、氬退火片、碳化硅片、硅基氮化鎵外延片、晶圓(2寸、4寸、6寸、8寸、12寸)、芯片、電路板、線路板

 

檢測(cè)項(xiàng)目:

無損分析

•  外觀形貌

•  X-ray透射

•  X-ray(3D)

•  聲學(xué)掃描(C-SAM)

•  膜厚測(cè)試

 

破壞性分析

•  DPA分析

•  金相切片

• 斷面SEM/EDS分析

• 開封技術(shù) (機(jī)械開封、激光開封、化學(xué)開封)

 

電性能測(cè)試

• 連接性測(cè)試

• 電參數(shù)測(cè)試

• 功能測(cè)試

 

失效復(fù)現(xiàn)/驗(yàn)證

• 復(fù)現(xiàn)驗(yàn)證

• 可靠性驗(yàn)證 (恒溫、恒濕、冷熱沖擊等)

• 器件對(duì)比

 

失效分析

• PCB/PCBA失效分析

• 電子元器件失效分析

• 液晶模組失效分析

• 功能失效

• 電參數(shù)漂移

• CAF失效

• 非穩(wěn)定失效

• 形貌觀察與測(cè)量

• 顯微結(jié)構(gòu)分析

• 異物分析

 

材料表征分析檢測(cè)

測(cè)試類型

說明

FIB

TEM

D-SIMS

AFM

SEM-EDS

XPS

納米壓痕

薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

SRP

XRT

TOF-SIMS

XRR

汞探針CV

用于TEM/SEM制樣等

透射電子顯微鏡,用于顯微分析觀察

摻雜元素、深度分布(bulk,prorie)

用于晶圓粗糙度測(cè)試、電性測(cè)試等(配置12寸載臺(tái))

提供微觀形貌測(cè)試,并可搭配EDS、EBSD等設(shè)備完成其他需求(配置有8寸腔體)

表面nm深度的元素半定量測(cè)試(需含量大于0.1%)

薄膜硬度,楊氏模量

測(cè)試薄膜應(yīng)力

測(cè)量節(jié)深,BP摻雜濃度隨著深度的變化

晶圓內(nèi)部晶格缺陷分布

元素、分子片段、定性定量(定量需標(biāo))

提供薄膜的厚度,粗糙度,密度

載流子濃度測(cè)試

 

 

服務(wù)流程

常見問題
 
是否可以提供采樣耗材和采樣服務(wù)?
NOA會(huì)根據(jù)客戶的測(cè)試樣品和測(cè)試需求,提供相應(yīng)的采樣耗材和采樣耗材使用方法。由于泛半導(dǎo)體樣品對(duì)于采樣有嚴(yán)苛要求,NOA可提供現(xiàn)場(chǎng)采樣服務(wù),確保測(cè)試從采樣開始層層把關(guān),為客戶提供全面的一站式服務(wù)。
是否能夠提供現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試服務(wù)?
在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,對(duì)測(cè)試的精確度和時(shí)效性有著嚴(yán)格的要求。面對(duì)客戶的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試需求,我們將依據(jù)客戶所需測(cè)試的項(xiàng)目、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試條件以及交付要求,制定出相應(yīng)的測(cè)試方案,并及時(shí)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的安排。
測(cè)試結(jié)果測(cè)準(zhǔn)確性如何保證?

品牌資質(zhì)雙重保證
NOA作為國(guó)內(nèi)頭部檢測(cè)認(rèn)證機(jī)構(gòu),行業(yè)內(nèi)具有相當(dāng)?shù)钠放朴绊懥蜋?quán)威性,NOA獲得CMA,CNAS認(rèn)證,確保其管理體系和技術(shù)能力符合要求。

設(shè)備保障,技術(shù)可靠
NOA電子材料和化學(xué)品測(cè)試中心配備高精度設(shè)備,并定期校準(zhǔn)和維護(hù),測(cè)試人員行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富,嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作程序進(jìn)行測(cè)試,確保測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性。

質(zhì)量持續(xù)控制,數(shù)據(jù)報(bào)告嚴(yán)格審核
NOA通過內(nèi)部質(zhì)量控制(如使用標(biāo)準(zhǔn)樣品)和外部能力驗(yàn)證,持續(xù)監(jiān)控檢測(cè)質(zhì)量。測(cè)試數(shù)據(jù)需經(jīng)過多重審核,確保結(jié)果準(zhǔn)確無誤。

重視客戶反饋并積極改進(jìn)
重視客戶反饋,積極改進(jìn)檢測(cè)流程,提升準(zhǔn)確性。
是否可以進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)考察參觀?
NOA非常歡迎客戶進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)考察和參觀。我們歡迎客戶對(duì)檢測(cè)能力、設(shè)備水平和操作流程現(xiàn)場(chǎng)考察,直觀了解NOA的檢測(cè)環(huán)境、設(shè)備狀況、操作流程、質(zhì)量控制措施、人員專業(yè)性。促進(jìn)雙方溝通,建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。如果您有需求,可以提前與NOA業(yè)務(wù)人員預(yù)約,我們將奎蘇安排考察時(shí)間和排程。
我們的優(yōu)勢(shì)
權(quán)威資質(zhì)
NOA|挪亞已經(jīng)中國(guó)國(guó)家認(rèn)證認(rèn)可監(jiān)督管理委員會(huì) (CNCA) 批準(zhǔn)(CNCA-R-2002-051),并獲得中國(guó)國(guó)家檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)(CMA) 資質(zhì)認(rèn)定,已通過中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可委員會(huì) (CNAS)、國(guó)際認(rèn)可服務(wù)組織 (IAS)、英國(guó)皇家認(rèn)可委員會(huì) (UKAS)、澳大利亞和新西蘭聯(lián)合認(rèn)可體系 (JAS-ANZ)的多重認(rèn)可。NOA|挪亞已經(jīng)中國(guó)國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局核準(zhǔn),具備中國(guó)特種設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì),具有中國(guó)國(guó)家設(shè)備監(jiān)理和工程監(jiān)理資質(zhì)。NOA|挪亞-DCI是歐盟委員會(huì)CE指令公告機(jī)構(gòu),NOA|挪亞已經(jīng)國(guó)際電工委員會(huì)電子元器件質(zhì)量評(píng)定體系 (IECQ) 的認(rèn)可,是中國(guó)國(guó)家進(jìn)出口商品檢驗(yàn)鑒定機(jī)構(gòu),是上海市高新技術(shù)企業(yè)。
從研發(fā)到上市,肩負(fù)全鏈條測(cè)試服務(wù)
NOA|挪亞不止于測(cè)試,在提供質(zhì)量與性能測(cè)試的同時(shí),挪亞將提供不同的改進(jìn)措施方案,甚至新的設(shè)計(jì)思路,設(shè)計(jì)這些方案需要考慮市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)成本、生產(chǎn)與研發(fā)技術(shù)路線、以及最終產(chǎn)品的法律法規(guī)要求。挪亞用大規(guī)模、覆蓋全研發(fā)鏈條的高精密分析設(shè)備、檢測(cè)環(huán)境設(shè)施,以及豐富經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員,為客戶實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品從研發(fā)周期到上市周期中每一階段的技術(shù)需求。
品質(zhì)、效率和服務(wù)
NOA|挪亞在20余年的發(fā)展中形成了成熟扎實(shí)的運(yùn)營(yíng)系統(tǒng),我們讓熟悉市場(chǎng)法規(guī)、檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn),且具有專業(yè)行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)專家進(jìn)行測(cè)試實(shí)驗(yàn)和研究工作,他們?cè)诒WC技術(shù)過程符合國(guó)內(nèi)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)要求的同時(shí),以精確到分鐘的時(shí)效管理方式,來確保客戶在第一時(shí)間獲取滿意服務(wù)的結(jié)果,確??蛻粼谑袌?chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中搶占先機(jī)。
服務(wù)地域
NOA|挪亞檢測(cè)服務(wù)目前覆蓋歐洲、澳洲、俄羅斯地區(qū)、部分中東地區(qū)以及中國(guó)境內(nèi)絕大多數(shù)地區(qū),NOA|挪亞在不同地區(qū)能夠確??蛻舴?wù)的一致性和連貫性,消除陌生環(huán)境對(duì)客戶品質(zhì)保證和產(chǎn)品流通帶來的影響,使客戶以完美如初的品質(zhì)參與到全國(guó)或全球不同市場(chǎng)中。

Tel:+86-400 821 5138

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