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電子制造產業(yè)耗材、設備、設備零部件，晶圓盒及接觸材料提供專業(yè)的性能驗證，潔凈度驗證，污染物檢測服務。

適用范圍：

•  半導體設備及零部件、晶圓盒及晶圓接觸材料，濾芯、濾料、無塵工作服（無塵服/無塵鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包裝材料）

檢測項目：

丨 濾芯材料性能：

•  可靠性能：過濾精度、阻力、納污容量、孔徑、與過濾材料的相容性等

•  物理性能：濾材厚度、密度、伸展率、拉伸強度、頂破強度、撕裂強度、耐磨性等

•  安全性能：耐化學腐蝕穩(wěn)定性、耐濕熱穩(wěn)定性、耐紫外老化穩(wěn)定性等

丨 濾料性能：

•  物理性能：表面形貌和微觀結構、孔徑和孔隙率、拉伸強度和斷裂伸長率、耐磨性

•  可靠性能：過濾效率、壓降、吸附容量等

•  安全性能：耐化學腐蝕穩(wěn)定性、耐濕熱穩(wěn)定性、耐紫外老化穩(wěn)定性等

丨 濾芯產品效果驗證：

•  化學兼容性、可提取物或浸出物相容性、細菌截留率

•  無塵工作服（無塵服/無塵鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包裝材料）

•  附著的污染粒子檢測、附著未知成分解析、外觀、過濾效率、靜電性能、耐洗滌性能

丨 半導體設備：

•  發(fā)塵量測試、潔凈環(huán)境性能驗證、設備符合性證書

丨 ISO 14644：

•  潔凈室空氣顆粒及浮游菌監(jiān)控

丨 半導體零部件：

•  潔凈度驗證、Outgassing分析

丨 晶圓盒及晶圓接觸材料：

•  金屬元素污染物：鋰、硼、鈷、砷、銀、鎢、鈉、鉀、鎂、鈣、鐵、鋅、銅、鉻、鎳、鉛、錳、鋁、銻等

•  陰離子污染物：SO42-, Cl-, NO2-、Br-、NO3-、PO43-, F-等

•  顆粒污染物：顆粒粒徑0.1 – 1 um

•  有機物污染：含碳污染物

檢測儀器：

•  電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)

•  氣相色譜-質譜聯(lián)用儀（GC-MS）

•  離子色譜儀（IC）