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什么是失效分析
失效分析是一門發(fā)展中的新興學科,近年開始從軍工向普通企業(yè)普及。它一般根據(jù)失效模式和現(xiàn)象,通過分析和驗證,模擬重現(xiàn)失效的現(xiàn)象,找出失效的原因,挖掘出失效的機理的活動。失效分析是確定芯片失效機理的必要手段。 失效分析為有效的故障診斷提供了必要的信息。 失效分析為設計工程師不斷改進或者修復芯片的設計,使之與設計規(guī)范更加吻合提供必要的反饋信息。 失效分析可以評估不同向量的有效性,為生產(chǎn)提供必要的補充,為驗證流程優(yōu)化提供必要的信息基礎。
失效分析基本概念
1.進行失效分析往往需要進行電測量并采用先進的物理、冶金及化學的分析手段。
2.失效分析的目的是確定失效模式和失效機理,提出糾正措施,防止這種失效模式和失效機理的重復出現(xiàn)。
3.失效模式是指觀察到的失效現(xiàn)象、失效形式,如開路、短路、參數(shù)漂移、功能失效等。
4.失效機理是指失效的物理化學過程,如疲勞、腐蝕和過應力等。
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